近日,湖北省纵恒光电有限责任公司与华中科技大学集成电路学院合作,在钛酸钡(BaTiO₃,BTO)研究领域取得重要进展,成功开发出一系列可在 Si(单晶硅)、SiO-Si(氧化硅/硅复合衬底)、SiC(碳化硅)、石英玻璃、蓝宝石、氧化镁等多种基底上异质集成的BTO电光薄膜晶圆产品,具备向高速光通信、光互连及量子光学等前沿领域推广的潜力。
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在半导体与光电器件领域,无机铁电钙钛矿(ABO₃)材料凭借优异的铁电、压电性能,正加速渗透滤波器、压电器件、电光调制器、铁电存储器等热门赛道。然而,一个长期困扰行业的问题始终未解:这类材料难以在硅基等衬底上高质量集成——晶格失配、界面缺陷、光学损耗,三大瓶颈挡在产业化面前。对此,我司给出了一个简洁而强大的答案:一层具有光学匹配性的“原子级地基”缓冲层。
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