重大突破！高取向BTO电光薄膜晶圆填补国内市场空白！

发布时间：2026-05-10 17:45:20

纵恒光电公司联合华中科技大学集成电路学院，成功批量制备高电光系数（≥200pm/V）、高度200取向的钛酸钡（BTO）电光薄膜晶圆。

X射线衍射（XRD）测试显示，薄膜呈现高度200取向，且二次谐波衍射斑点效果明显，证实其具有优异的结晶质量和晶体学一致性。

关键意义

性能更优：高取向结构显著提升电光系数与调制效率，为高速光通信、光学相控阵、集成光芯片等提供理想电光介质。

填补国内空白：此前高取向BTO电光薄膜长期依赖进口或停留在实验室验证阶段，我们率先实现可重复制备，打破国外垄断。

从结晶取向控制到薄膜工艺稳定，我们走通了国产化最难的一段路。这不是“能用”，而是“好用”的电光薄膜核心材料。

欢迎光电器件、集成光学领域的伙伴交流合作，共同推动国产电光薄膜走向规模应用。